Wir bieten die fachgerechte Fehleranalyse, Reparatur und Kalibrierung von Hochfrequenz- Leistungsversorgungen für die Plasma- und Erwärmungstechnik gemäß Ihrer Zertifikate oder Ihrer Kalibrierkurven für eine exakte Abstimmung auf Ihre Maschine und zur Erfüllung der technischen Vorgaben der Anlagenhersteller an.
Die Messprotokolle werden dem reparierten Gerät beigefügt.
Um einen kleine Beitrag zur Verminderung der Umweltbelastungen zu leisten, bemühen wir uns auch für ältere Modelle, Ersatzteile zu besorgen.
Die Anwendungsbereiche reichen von der Beschichtungs- und Trockenätztechnologie in der Halbleiterindustrie, Sensor- und Dünnschichttechnik, Displayfertigung, bis zur Erwärmungstechnik, Forschung und Entwicklung.
Andere Modelltypen auf Anfrage.
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| Matching Unit | ||
| ADTEC AMV-4000-40M-EH | ||
| Generator | ||
| AX4000-III-40M-U1 |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| Low Frequency Generators (50 … 450 kHz) | ||
| 3150012-000 | LF5, 500W | |
| 3150010-000 | LF 10, 1000W | |
| 3150058-000 | LF 20, 2000W | |
| 27-032538-00 | LF 30, 3000W | |
| Low Frequency Generators (325 … 450 KHz) | ||
| 3156012-000 | PDX 2500 | |
| 3156024-031 | PDX 900-2V 350KHZ PFP VDE | |
| 3156024-103/105 | PDX 500 DC BIAS | |
| 3156024-106/110 | PDX 900-2V PFP SACVD CE | |
| 3156024-108 | PDX 1250, 400-450KHZ PFP CE | |
| 3156024-111 | PDX 1250,AFP,325-375KHZ | |
| 3156024-112 | PDX 1250, 400KHZ TO 450KHZ | |
| 3156024-140 | PDX 1400, 235-305KHZ VDE | |
| 3156043-001 | PDX 5000, 330 – 420khz | |
| 3156048-200 | PDX 8000 | |
| Low Frequency Generators 400 KHz | ||
| 3156011-000 | PDW2200 | |
| 3156011-002 …007 | PDW2200 DIR/CPLR II | |
| High Frequency Generators 13,36 MHz | ||
| 3150004-000 | RF5 , 500W 208 VAC 1 P N | |
| 3150013-000 | RF50, 5000W 208 VAC 3PH DIN | |
| 3150014-000 | RF10 , 1000W 208 VAC 1 PH N | |
| 3150017-000 | RF30, 3000W 208 VAC 3PH DIN | |
| 3150067-000 | RF10M, 1000W 208 VAC 1 PH N | |
| 3150073-000 | RF10 , 1000W 208 VAC 1 PH N CE | |
| 3150073-000 | RF10 , 1000W 208 VAC 1 PH N CE | |
| 3150075-000 | RF20, 2000W 208 VAC 3PH HN CE | |
| 3150077-000 | RF30, 3000W 208 VAC 3PH HN CE | |
| High Frequency Generators 13,36 MHz / 600W | ||
| 3155002-000 | RFX600 230V BIO-RAD | |
| 3155082-000 | RFX 600A | |
| High Frequency Generators 13,36 MHz / 1250W | ||
| 3155027-000 | RFG1250 HALO | |
| 3155059-026 | RFDS 1250 HARTING LRC | |
| RFXII1250 | ||
| High Frequency Generators 13,36 MHz / 2000W | ||
| 3155038-013 | RFDS 2K-2V, CE | |
| 3155053-000 | RFG2000-2V | |
| High Frequency Generators 13,36 MHz / 3000W | ||
| 3155038-000 | RFG 3000 | |
| 3155038-011 | RFDS3000 CE | |
| 3155047-000 | RFXII 3000 CE | |
| 3155089-000 | RFG 3001 | |
| 3155089-010 | RFG3002 | |
| High Frequency Generators 13,36 MHz/ 5500W | ||
| 3155051-000 | RFG5500 | |
| different Generators | ||
| 3150262-000 | Atlas 2012 | |
| 3150852-000 | VHF 2060 | |
| 5155083-113 | HV 8000 | |
| Automatch AZX Tuners 13,56 MHz | ||
| 3155031-000 | AZX 90 | |
| 3155031-014 | AZX 63 | |
| 3155036-000 | AZX10 | |
| various parts | ||
| 1001413 R | AE CESAR 1312 R | |
| 3150274-004 | Mercury 3013 RF Match Matching Network |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| Low Frequency Generators (90 … 460 kHz) | ||
| PL2-HF-11451-55 | Plasmaloc PL-2HF-11451 | |
| High Frequency Generators 13,56 MHz | ||
| OEM-6AM-1 | OEM 6 | |
| OEM-6B-03 | OEM 6B | |
| OEM-6A-11491-51 | OEM 650 | |
| OEM-1250-01 | OEM 1250 | |
| OEM-12A-21041-51 | OEM 12A | |
| OEM12AB3-01 | OEM 12A | |
| OEM-12B-01 | OEM 12B | |
| OEM-12B-02 | OEM 12B | |
| OEM-12B-05 | OEM 12B | |
| OEM-12B3-02 | OEM 12B3 | |
| OEM-12B3-08 | OEM 12B3 | |
| OEM-25N-XL | OEM 25N | |
| OEM-25A-02 | OEM 25XL | |
| OEM-28B-02 | OEM 28B | |
| OEM-28B-04 | OEM 28B | |
| OEM-50N-01-CE | OEM 50 | |
| OEM-50-02 | OEM 50 | |
| ACG-10T | ACG-10T | |
| ACG-10XL | ACG-10XL | |
| ACG-3-11701 | ACG-3 | |
| ACG-3B | ACG-3B | |
| ACG-3XL | ACG-3XL | |
| ACG-5 | ACG-5 | |
| ACG-5J | ACG-5J | |
| ACG-5XL | ACG-5XL | |
| ACG-6 | ACG-6 | |
| ACG-6B-02 | ACG-6B | |
| ACG-10-11631-51 | ACG-10 | |
| ACG-10B-01M9 | ACG-10B |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| Low Frequency Generators | ||
| CLF500H | 500W, 20 – 50 kHz fixed | |
| CLF500 | 500W, 20 – 450 kHz fixed | |
| CLX600H | 600W, 20 – 800 kHz fixed | |
| CLF1000H | 1000W, 20 – 50 kHz fixed | |
| CLF1000 | 1000W, 20 – 450 kHz fixed | |
| CLX1250 | 1250W, 400 kHz & 2 MHz standard | |
| CLX2500 | 2500W, 20 kHz – 2 MHz fixed | |
| CLB3000 | 3000W, 20 kHz – 2 MHz fixed | |
| CLB5000 | 5000W, 20 kHz – 2 MHz fixed | |
| CLF5000 | 5000W, 50 – 450 kHz fixed | |
| CLB6000 | 6000W, 20 kHz – 2 MHz fixed | |
| CLX10000 | 10000W, 400 kHz standard | |
| CLB12K | 12KW, 20 kHz – 2 MHz fixe | |
| High Frequency Generators 13,56 MHz and more | ||
| CB50 | 50W, 13.56 MHz, 27.12 MHz, 40.68 MHz, 60 MHz standard fixed | |
| CB200 | 200W, 13.56 MHz, 27.12 MHz, 40.68 MHz, 60 MHz standard fixed | |
| CB300 | 300W, 13.56 MHz, 27.12 MHz, 40.68 MHz, 60 MHz standard fixed | |
| CPS500 | 500W, 13.56 MHz – 80 MHz fixed | |
| CB600 | 600W, 13.56 MHz, 27.12 MHz, 40.68 MHz, 60 MHz standard fixed | |
| CX600 | 600W, 2 MHz – 30 MHz fixed | |
| CPS1001 | 1000W, 2 MHz – 80 MHz fixed | |
| CB1000 | 1000W, 13.56 MHz, 27.12 MHz, 40.68 MHz, 60 MHz standard fixed | |
| CX1250 | 1250W, 2 MHz – 30 MHz fixed | |
| CX2500 | 2500W, 2 MHz – 30 MHz fixed | |
| CX5000 | 5000W, 2 MHz – 30 MHz fixed | |
| CB5000 | 5000W, 13.56 MHz, 27.12 MHz, 40.68 MHz, 60 MHz standard fixed | |
| Dual Process Energy Generator | ||
| CDX 1000 | 13,56 MHz, 400kHz | |
| CDX 2000 | 13,56 MHz, 400kHz |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| ES1D80-003054 R | AGA-27 (TEL Unity SCCM 60Mhz Top Generator Daiki) | |
| ES3D80-000793-13 | Telius 60Mhz Top matcher (AMN-50B2) | |
| ES3D39-050149-71 R | Telius(SP) 2Mhz Btm matcher WMN-50, H6A | |
| ES3D39-050149-11 | Telius 2 MHz Bottom Matcher | |
| ES3D80-000148-16 R | Telius (SP) ESC HV Power Supply HV-PS4 |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| CESAR | ||
| various Parts | on Request |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| Trazar matching units | ||
| AMU 10-B | Matrix: 104759 | |
| AMU 10D-2 | Mattson: 914-92003-00 | |
| AMU 10D-3 | Mattson: 553-08663-00 | |
| AMU 10D-4 | Mattson: 553-12708-00 | |
| AMU 10E-1 | Novellus: 27-034223-00 | |
| AMU 10E-2 | Novellus: 27-118072-00 | |
| AMU 10G-1 | Novellus: 27-27-052211-00 | |
| AMU 10H-1 | Mattson: 553-05430-00 | |
| AMU2-1 Vertical | Novellus: 27-121645-00 | |
| AMU2-1 Horizontal | Novellus: 27-032653-00 |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| Matching Units | ||
| RFS 3019 | Mattson: 553-21311-00 | |
| RFS-711A | Mattson: 553-16428-00 |
| P/N | Typ | |
|---|---|---|
| 0010-00854W R | R1 DPS+ POLY RF MATCH | |
| 0010-01929 | RF-MATCH, BIASED ELECTRO | |
| 0010-02372 | ASSY, HIGH EFF. RF MATCH-BIAS W/ FILTER | |
| 0010-02977 | RF-MATCH, SUB ZERO BESC | |
| 0010-04138 | RF-MATCH, CVD | |
| 0010-09007 | ASSY, CVD RFMATCH DC BIAS | |
| 0010-09416 | ASSY RF MATCH, ETCH/ER | |
| 0010-09417 | ASSY RF MATCH, CVD | |
| 0010-09490 | ASSY RF MATCH BW EB | |
| 0010-09750 | ASSY, CVD RFMATCH DC BIAS | |
| 0010-13622 | ASSY VECTRA IMP RF Match | |
| 0010-13627 | wASSY, HIGH EFFICIENCY RF-MATCH-BIAS | |
| 0010-13644 | RF MATCH FOR CLEAN | |
| 0010-13878 | ASSY, HIGH EFF. RF MATCH | |
| 0010-15877 | ASSY, RF MATCH, BIASED ELECTRODE | |
| 0010-19085 | RF ICE MATCH 2MHZ, 200MM SIP ENCORE PVD | |
| 0010-19529 | ASSY, HIGH EFF. RF MATCH | |
| 0010-20524 | ASSY/8” RF MATCH MODIFIED | |
| 0010-20525 | MODIFIED 6″ RF MATCH | |
| 0010-22161 | RF MATCH FOR CLEAN (0010-13644) | |
| 0010-22225 | MODULE MFG | |
| 0010-26180 | ASSY, HIGH EFF. RF MATCH | |
| 0010-30236 | HE RF MATCH-BIAS | |
| 0010-30687 | HE RF MATCH, ETCH, MXP+ | |
| 0010-36162 | RF MATCH, SIMPLE CATHODE | |
| 0010-36408 | wASSY, RF MATCH, DPS CHAMBER | |
| 0010-36408 | wASSY, RF MATCH, DPS CHAMBER | |
| 0010-39207 | HE RF MATCH, ETCH, SUPER-E |
Wir bieten HF- Leistungsversorgungen für Beschichtungs- und Ätzanlagen in der Halbleiterfertigung, für industrielle Anwendungen und für die Forschung- und Entwicklung an. Dazu gehören eine umfassende technische Beratung und die Möglichkeit zur Analyse Ihrer HF- Versorgungen durch unser Fachpersonal.
• On Site Analyse von Fehlern bei der Leistungseinkopplung
• Elektrische Messungen innerhalb und außerhalb des Reaktors
• Computerunterstützte Simulation der charakteristischen Hochfrequenz- Größen bei Leistungsversorgungen mit fixen und variablen Impedanzen
• Kalkulation von Anpassbereichen bei neuen technologischen Prozessen in der Plasma- und Erwärmungstechnik
• Beratung beim Upgrading vorhandener Systeme und Lieferung leistungsfähiger Elektroden und Leitungen
• Entwicklung und Verkauf von HF-Generatoren und automatischen Matchboxen, HF- Komponenten und vakuumtauglicher Strom-und Spannungswandler
Wir bieten Kurse zu Grundlagen der HF-Leistungstechnik für Techniker und Ingenieure in der Halbleiterfertigung an.
Nach Abschluss des Weiterbildungskurses sind die Teilnehmer mit der Theorie und Funktionsweise von Hochfrequenz- Leistungsgeräten an Plasmaanlagen vertraut.
DE 
EN 