FAP Plasmatechnik FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
 
Kompetenzen

Grundlage unserer Tätigkeit bilden langjährige Erfahrungen auf den Gebieten

• Halbleitertechnologie und Niederdruck-Plasmatechnik,
• HF-Leistungstechnik,
• Entwicklung fotoelektrischer Dünnschichtbauelemente,
• Entwicklung und Herstellung von Elektrodensystemen, Reaktoren
  und Anlagen zur Plasma-CVD.
 


Geschäftsfelder


Anlagen & Technologien

Entwicklung, Fertigung und Lieferung von Reaktoren/Elektroden- systemen für Load Lock-, Cluster- und In line- Systeme mit Technologieinstallation zur

• Plasma-CVD von elektronisch hochwertigen Schichten auf ebenen
  Substraten mit Abmessungen bis 1 m², Betriebsfrequenz bis 80 MHz
• Plasma-CVD von elektronisch hochwertigen Schichten auf
  zylindrischen Substraten, Betriebsfrequenz bis 27,12 MHz
• Plasma-CVD von elektronisch hochwertigen Schichten auf ebenen
  Substraten bei kontinuierlicher Substratbewegung, Betriebsfrequenz   bis 80 MHz.


Entwicklung, Fertigung und Lieferung von Anlagen und Technologien zur Plasma-CVD mit plasmachemischer Reaktorreinigung sowie zur Plasmapolymerisation für ebene und zylindrische Substrate.


Entwicklung, Fertigung und Lieferung von VHF-Plasmaquellen und verlustarmen Leitungssystemen einschließlich Vakuum-durchführungen.

Auftragsbeschichtung und -Ätzung.


Service

• Reparatur und Kalibrierung von Komponenten der
  Hochfrequenz-Leistungstechnik: Generatoren/Leistungsverstärker,
  Anpassungen.
• Reparatur und Kalibrierung von Gasflußreglern (MFC).
• Training zur HF-Leistungstechnik, Plasma- und Vakuumtechnik.
• Plasma-Reaktor-Diagnose von Elektrodensystemen und Reaktoren.
• Upgrading.

 
PRODUKTE

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LEISTUNGEN

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KONTAKT

FAP GmbH Dresden
Gostritzer Str. 67 B
01217 Dresden

Tel.: + 49 351 8718110
Fax: + 49 351 8718416
E-Mail: fap.gmbh@online.de



 
 
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