FAP Plasmatechnik FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
 
Ausstattung

Montage- und Erprobungsfläche


Reinstgasver- und -entsorgung

• zur Plasma-CVD, zur Plasmapolymerisation und zum   
  Plasma-Ätzen/Reaktorreinigung


Reinräume 

• zur Substratreinigung und Schichtanalyse sowie Montage und
  Reparatur von Baugruppen

 
Beschichtungsanlagen für applikative Untersuchungen, Technologieentwicklung sowie Auftragsbeschichtung für ebene und koaxiale Substrate

• zur Plasma-CVD, Plasma-Polymerisation und Plasma-Ätzen


Software


• zur Rechnersimulation des HF-Verhaltens von Reaktoren und 
  Leitungen

Anlagenmeßtechnik

• HF/VHF-Meßtechnik
• HF/VHF-Leistungsversorgung bis 100 MHz
• Plasmaemissions-Spektrometer
• Temperatur-Array-Sensor
• Vakuum-Meßtechnik


Schichtmeßtechnik

• Fotoelektrische Schichtparameter, elektrofotografische
  Schichteigenschaften, Schichtdicke, Abrieb, Kontaktwinkel


Serviceeinrichtungen

für die

• Reparatur, Reinigung und Kalibrierung von MFC
• Reparatur und Kalibrierung von Mittel -und
• Hochfrequenzgeneratoren/-leistungsverstärker
• Reparatur und Kalibrierung von Hochfrequenz-Anpassungen 
  (Matchbox)

 
PRODUKTE

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LEISTUNGEN

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KONTAKT

FAP GmbH Dresden
Gostritzer Str. 67 B
01217 Dresden

Tel.: + 49 351 8718110
Fax: + 49 351 8718416
E-Mail: fap.gmbh@online.de



 
 
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