FAP Plasmatechnik FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
 
PECVD-Anlagen

VHF- Load Lock-Hochtemperatur-PECVD-System für Wafer VPS 200 HT

PECVD-Modul für Wafer PS 200

VHF-PECVD/Ätz-Modul für Platten VPEM 100

PECVD-Sytem für Trommeln TR 500
 
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