FAP Plasmatechnik FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
 
Zündhelix ZH 40


Anwendung

• Zündhilfe für plasmagestützte 
  Oberflächenbearbeitung, inerte
  oder reaktive Prozesse
• Plasmaquelle für Mini-Reaktoren
• F&E und Fertigung


Aufbau

• Plasmaquelle mit koaxialem Helix-Resonator
• Integrierte VHF-Generator mit automatischer Anpassung
• Einbau- oder Anbauausführung


Wesentliche Merkmale und Funktionsweise

• Induktiv-kapazitve Einkopplung
• Automatische oder manuelle Abschaltung nach Zündung der
  Prozessentladung
• 144 MHz-Anregung
• Keine Kontamination der Prozesskammer
• Integrierter Übertemperaturschutz
• Ausführung in Edelstahl mit Metalldichtung oder Aluminium mit
  Elastomerdichtung
• Geringer Platzbedarf


Technische Daten

Flansch DN 40 KF
   
Leistungsversorgung 144 MHz, 50 W
   
Arbeitsdruck 0,005 - 10 mbar
   
Grundaufbau Einbau- oder Anbausystem
   
Montage Face down, face up, vertical
   
Kühlung Mit Luft
   
Abmessungen Ø38 mm x 65 mm innerhalb der Kammer,

Ø75 mm x 140 mm außerhalb der Kammer,






 
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