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Zündhelix ZH 40
 Anwendung
• Zündhilfe für plasmagestützte
Oberflächenbearbeitung, inerte
oder reaktive Prozesse
• Plasmaquelle für Mini-Reaktoren
• F&E und Fertigung
Aufbau
• Plasmaquelle mit koaxialem Helix-Resonator
• Integrierte VHF-Generator mit automatischer Anpassung
• Einbau- oder Anbauausführung
Wesentliche Merkmale und Funktionsweise
• Induktiv-kapazitve Einkopplung
• Automatische oder manuelle Abschaltung nach Zündung der
Prozessentladung
• 144 MHz-Anregung
• Keine Kontamination der Prozesskammer
• Integrierter Übertemperaturschutz
• Ausführung in Edelstahl mit Metalldichtung oder Aluminium mit
Elastomerdichtung
• Geringer Platzbedarf
Technische Daten
| Flansch |
DN 40 KF |
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| Leistungsversorgung |
144 MHz, 50 W |
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| Arbeitsdruck |
0,005 - 10 mbar |
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| Grundaufbau |
Einbau- oder Anbausystem |
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| Montage |
Face down, face up, vertical |
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| Kühlung |
Mit Luft |
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| Abmessungen |
Ø38 mm x 65 mm innerhalb der Kammer,
Ø75 mm x 140 mm außerhalb der Kammer, |
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