FAP Plasmatechnik FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
 
Generatoren


Anwendungsbereich Beschichtungs- und Ätzanlagen in der Schaltkreisfertigung, Displayfertigung, F&E
   
Produkte der Fa.
Advanced Energy, Inc.
Produktlinie RFG
RFG 1250, RFG 2000, RFG 3000, RFG 5500, ...

Produktlinie RFD

Produktlinie RFX
RFX 600, RFX 3000, ...
   
Produkte der Fa. 
RF Power Products, Inc.
Low Frequency Generators
50 - 450 kHz

LF5 (500 W), LF 10(1000W), LF 20 (2000W), LF 30 (3000W)

Mid and High Frequency Generators
M: 1,7 ... 4,0 MHz, R: 12,56 MHZ, S: 13,56 MHz; P: 27,12 MHz, L: 40,68 MHz
RF 5(500W), RF10 (1000W), RF20 (2000W), ...

Generators for ICP
ICP10P (1000W, 27,12 MHz), ICP20P (2000W, 27,12MHz), ...
   
Produkte der Fa. ENI Low Frequency Generators
90 - 460 kHz

Plasmaloc PL-2HF-11451, .....

High Frequency Generators 13,56 MHz OEM6, OEM12, OEM25A, ...


Automatische Anpass-Netzwerke


Produkte der Fa.
RF Power Products, Inc.
AM5, AM10, AM20, ...               
   
Produkte der Fa.
Applied Materials
RF-match P5000, Etch;
RF-match P5000, CVD;
RF-match assy, BW-EB, ...




 
PRODUKTE

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KONTAKT

FAP GmbH Dresden
Gostritzer Str. 67 B
01217 Dresden

Tel.: + 49 351 8718110
Fax: + 49 351 8718416
E-Mail: fap.gmbh@online.de



 
 
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